纳米压痕仪的基本组成可以分为控制系统、移动线圈系统、加载系统及压头等几个部分。压头一般使用金刚石压头，分为三角锥或四棱锥等类型。试验时，首先输入初始参数，之后的检测过程则*由微机自动控制，通过改变移动线圈系统中的电流，可以操纵加载系统和压头的动作，压头压入载荷的测量和控制通过应变仪来完成，同时应变仪还将信号反馈到移动线圈系统以实现闭环控制，从而按照输入参数的设置完成试验。使用纳米压痕仪要满足哪些要求：

 

　　1.样品要求：上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固；如果是镶的样品，加工成直径31.5mm，要不然容易打偏；

 

　　2.特别注意：试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；压入深度小于100nm数据可靠度不高；压入深度一般2-3微米，深度再大没有太大意义；对于表面比较粗糙的样品，测试结果比较离散，建议测试点数不低于10个；样品表面平整，不得有油污、颗粒物等污染物；提供样品的泊松比。