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直线高真空位移台
参考价:

型号:LS-1740

更新时间:2022-11-12  |  阅读:1449

详情介绍

LS-17系列直线高真空位移台具有很高的刚度,因此非常适合要求定位稳定性和高精度优先满足的微纳米定位系统。可提供不同的行程范围,从12毫米到51毫米不等。标准、高真空、超高真空、无磁版本适用于所有型号。

高真空位移台产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm,行程范围为26mm。

 

概观  
运动行程[mm] 26
尺寸[mm] 40 x 17 x 10
重量[g] 26
力特性  
最大推力[N] 2
最大负载[N] 10
最大升力[N] 1
定位性能  
开环最大速度[mm/s] >5
开环定位分辨率[nm] <1
闭环最大速度[mm/s] >1
闭环定位分辨率[nm] <5
选配  
材质 标配为铝底座;可选配钢座(-ST)、钛基(-TI);均黑色阳极氧化(-BK)
真空兼容 (1E-6 mbar) -HV
高真空兼容 (1E-11 mbar) 可根据要求定制
无磁 可根据要求定制
* 所有技术规格参数均为近似值,由于产品持续研发,我们保留更改技术规格的权利,恕不另行通知。

 

 

 

 
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