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LS-17系列直线高真空位移台具有很高的刚度,因此非常适合要求定位稳定性和高精度优先满足的微纳米定位系统。可提供不同的行程范围,从12毫米到51毫米不等。标准、高真空、超高真空、无磁版本适用于所有型号。
高真空位移台产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm,行程范围为26mm。
概观 | |
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运动行程[mm] | 26 |
尺寸[mm] | 40 x 17 x 10 |
重量[g] | 26 |
力特性 | |
最大推力[N] | 2 |
最大负载[N] | 10 |
最大升力[N] | 1 |
定位性能 | |
开环最大速度[mm/s] | >5 |
开环定位分辨率[nm] | <1 |
闭环最大速度[mm/s] | >1 |
闭环定位分辨率[nm] | <5 |
选配 | |
材质 | 标配为铝底座;可选配钢座(-ST)、钛基(-TI);均黑色阳极氧化(-BK) |
真空兼容 (1E-6 mbar) | -HV |
高真空兼容 (1E-11 mbar) | 可根据要求定制 |
无磁 | 可根据要求定制 |