MLS-1730系列三维纳米定位台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。

　　平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现0.05%F.S.重复定位精度。P12B.XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm/轴，闭环扫描精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域，同时适用于真空应用，满足客户真空应用需求。

　　特点

　　· 三维XYZ向运动

　　· 行程100μm/轴

　　· 中心通孔?10mm

　　· 适用于真空应用

　　应用领域

　　· 扫描显微/表面测量

　　· 共焦显微/半导体测试

　　· 晶圆定位/图像处理与稳定

　　· 光纤定位/光学扫描

产品描述：MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。

三维纳米定位台参数：