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WLS-50 直线定位平台具有更高刚度,能够轻松集成到六轴串联定位台。
WLS-50 直线定位平台
产品描述 WLS-50的尺寸为50 x 50 x 15mm,行程范围为30mm。
概观 |
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步进行程[mm] | 30 |
扫描行程[μm] | >2 |
尺寸[mm] | 50 x 50 x 15 |
重量[g] | 70 |
力特性 |
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最大推力[N] | 2 |
最大负载[N] | 10 |
最大升力[N] | 1 |
定位性能 |
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开环最大速度[mm/s] | >5 |
开环定位分辨率[nm] | <1 |
闭环最大速度[mm/s] | >1 |
闭环定位分辨率[nm] | <5 |
选配 |
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材质 | 标配为铝底座;可选配钢座(-ST)、钛基(-TI);均黑色阳极氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
无磁 | 可根据要求定制 |
* 所有技术规格参数均为近似值,由于产品持续研发,我们保留更改技术规格的权利,恕不另行通知。